내년 하반기 완공‧ 2020년 본격 가동…초기 투자 60억달러, 향후 시황 고려 추가 투자키로

삼성전자 화성캠퍼스 EUV라인 조감도. / 이미지=삼성전자

삼성전자가 경기 화성에 초기 투자금 60억달러(약 6조4750억원)를 들여 최첨단 반도체 라인을 착공키로 했다. 완공 시점은 내년 하반기다. 향후 반도체 시황에 따라 추가 투자도 이뤄질 전망이다.

23일 삼성전자는 경기 화성캠퍼스에서 ‘삼성전자 화성 EUV 라인 기공식’을 열고 본격적으로 라인 건설에 착수했다. 이번에 착공하는 화성 EUV라인은 2019년 하반기에 완공, 시험생산을 거쳐 2020년부터 본격 가동을 시작할 예정이다. 덕분에 화성시도 평택시와 함께 첨단 반도체 산업의 메카로서 입지를 확고히 하게 됐다.

이번 신규라인에는 미세공정 한계 극복에 필수적인 EUV(Extreme Ultra Violet, 극자외선)장비가 본격 도입될 계획이다. 이에 따라 삼성전자가 향후 반도체 미세공정 기술 리더십을 유지하는 데 핵심 역할을 할 것으로 보인다.

그간 반도체 산업은 공정 미세화를 통해 집적도를 높이고 세밀한 회로를 구현하며 반도체 성능과 전력효율을 향상시켜왔다. 다만 최근에는 한 자리 수 나노 단위까지 미세화가 진행됐다. 이에 따라 세밀한 회로를 구현하기 위해서는 기존 ArF(불화아르곤) 광원보다 파장이 짧은 EUV 장비의 도입이 불가피한 상황이 됐다.

EUV 기술이 본격 상용화되면 반도체의 성능과 전력효율을 향상시킬 수 있을 전망이다. 또 회로 형성을 위한 공정수가 줄어 생산성도 높일 수 있을 것으로 보인다.

삼성전자는 화성 EUV라인을 통해 향후 모바일/서버/네트워크/HPC 등 고성능과 저전력이 요구되는 첨단 반도체 시장 수요에 적기 대응할 계획이다. 더불어 7나노 이하 파운드리 미세공정 시장을 주도해 나가겠다는 포부다.

화성 EUV라인의 초기 투자규모는 건설비용을 포함해 2020년까지 60억달러 수준이다. 삼성전자는 라인 가동 이후 시황에 따라 추가 투자에 나설 계획이다.

김기남 삼성전자 DS부문장(사장)은 기념사를 통해 “이번 화성 EUV 신규라인 구축을 통해 화성캠퍼스는 기흥‧화성‧평택으로 이어지는 반도체 클러스터의 중심이 될 것”이며 “삼성전자는 산학연 및 관련 업계와의 다양한 상생협력을 통해 국가경제에 기여할 것”이라고 밝혔다.

한편 이날 기공식에는 권칠승 더불어민주당 의원(화성시병), 황성태 화성시 부시장, 김기남 사장, 정은승 파운드리 사업부장, 지역주민 등 약 300명이 참석했다.

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